|特点：                                                      

重量较轻，适合于移动，操作方便；

该设备采取X/Y方向移动XY平台手动调节;

吸附方式为磁吸附，且设备配有超静音低震动真空泵及屏蔽箱，能够进一步隔离电磁波与光干扰，提高了测量精度。

|指标：                                                      

行程范围：100mm×100 mm，Z轴方向上下升降;

范围: 大于 5 mm，实现了快速升降，对样品精确定位以配合点针操作；

双目观察头瞳距调节范围： 54~75mm；

 两目镜筒视度均可调节，调节范围为±5屈光度；

物镜采用物0.7X~4.5X的连续变倍物镜;

卡盘加热温度范围扩大到室温~200度;

温控精度达±0.1 度

|用途：                                                      

        EPS4型经济型探针台主要应用在光电器件等小尺寸的电学量测中，在电子、半导体、机电、化工、材料特性等电学测试的研究中。设备配置2set MH300探针座（磁吸附底座）、Spring Holder弹簧探针夹具、1.5m同轴线缆、BNC接口，4"真空吸附卡盘，XYZ平台调整，三目体式显微镜，主要用于DC量测，漏电流要求nA级。